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自动探针包硬件和软件
为了确保高度的可靠性和可重复性,自动探针台所使用的探针、探针卡和互连线路必须在从直流到所关心的最高频率的范围内都能够表现出较低的损耗和反射特性。目前无线设备的上限频率是40GHz左右。对于这样宽的半导体测试频率范围,人们在互连方面通常使用精密的50Ω微型同轴线缆来连接探针和连接器接口。这种同轴线缆的设计相比平面的线缆设计具有更低的损耗和更少的辐射,测量可重复性可以到达-80dB的偏离度(isolation)。
可重复性也受稳定校准的影响,这与VNA的架构、探针设计和探针包软件有关。单独带弹簧的铍-铜或钨探针能够确保探测点反复接触而不失效,最大限度地减少电路损伤,增加探针寿命。最好的设计可以实现30万次以上的接触寿命。这些硬件所使用的探测控制算法应该自动产生一定量的过激励(overdrive),那么探测点不需要过分擦洗接触盘的表面,就能够实现可靠的探针接触,而不受灰尘、污垢和氧化物污染的影响。轻微擦洗以及所提供的精密接触区域观察功能能够进一步简化探针定位工作,提高精确校准所需的精度。为了增强数据完整性,某些探针卡的控制程序还提供了进行探针自动清洁的抛光例程(burnishing routine)。
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